| 电子显微镜 |
| EP05252228 2005-4-8 发明申请 |
| 2005-10-12 |
| 本发明公开了一种电子显微镜，其实现了低倍率成像在所述物镜被保持在高激励在所述相同的方式作为在高倍率成像。一物镜minilens(12)位于紧接后面所述的物镜(11)缩小一个样品图像放大通过所述物镜透镜。因此，快速聚焦的电子束进入第一中间透镜(13)。这大大降低了该离轴像差在所述中间透镜的效果。第一，第二，和第三中间透镜(13，14，15)创建一个交叠图像和所述入口中的一个显微镜图像窗口平面(24)和入口图像平面(25)，分别，一能量的滤波器(16)。该能量滤波器聚焦显微镜图像和交叠图像到所述出射的图像平面(26)和出射窗平面(27)，分别。所述从所述滤波器输出的图像被投影到所述最终图像平面(20)由第一和第二投影仪透镜(18，19)。 |
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