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原子力显微镜

JP2004090638 2004-3-25 发明申请

2005-10-6

要解决的问题 : 以提供一种操作性优良的原子力显微镜和一低噪声。溶液 : 本发明的该原子力显微镜中，一悬臂是基本上平行于面中设置垂直于物镜的光学轴，和一个扫描器保持表被保持，以使一角度一个样品的面与相对于“所述所述物镜的透镜面垂直于所述光学轴线”落入当样品被带来一个规定的范围基本上为一与所述悬臂接触条件。版权 : (C)2006，膜℃。