| 一种用于微纳米结构激光加工的近场扫描光学显微镜 |
| US10813503 2004-3-30 发明申请 |
| 2005-10-6 |
| 一种用于使用超快激光源在表面上激光加工特征的近场扫描光学显微镜(NSOM)激光微加工系统和激光加工这种特征的方法。 所述系统包括 : 超快激光源，用于产生具有小于1ns的脉冲持续时间和峰值波长的激光脉冲； 具有基本上圆柱形形状的NSOM探针； NSOM安装件，用于可控地保持NSOM探针和待加工的微结构工件； NSOM探针监视器，耦合到所述NSOM安装件，用于确定所述NSOM探针的探针尖端与所述表面之间的距离； 以及NSOM控制器，其耦合到所述NSOM探针监视器，以及所述NSOM安装件中的运动级。 NSOM支架包括XY运动台和Z运动台。 这些运动平台可以是一个或多个运动平台，例如一个或多个运动平台，一个或多个运动平台，一个或多个运动平台，或一个或多个运动平台。 |
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