| 使用近场扫描光学显微镜修饰现有微结构和纳米结构的方法 |
| US10813372 2004-3-30 发明申请 |
| 2005-10-6 |
| 一种使用NSOM激光微加工系统制造微结构的方法，该微结构包括在现有特征上的至少一个精细特征。 本发明提供了一种微结构器件预制件。 其顶表面的一部分用NSOM仿形以产生地形图像。 所述成型部分被选择为包括现有特征。 基于地形图像为顶表面的轮廓部分定义图像坐标系。 使用地形图像确定参考点的坐标和图像坐标系中现有特征的取向。 使用所确定的基准点坐标和现有特征的取向，在现有特征的一部分上对准NSOM的探针尖端。 微结构器件预制件的顶面用微机械加工激光器加工，以在现有特征上形成精细特征(一个或多个)。 |
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