| 具可量测中空物体之原子力显微镜结构 |
| TW093108079 2004-3-25 发明申请 |
| 2005-10-1 |
| 本发明系有关於一种「具可量测中空物体之原子力显微镜结构」，至少包含有至少一雷射模组、一光检测模组及一探针模组，其中该探针模组系连接一座体，其包含有至少一悬臂，悬臂一端形成设有一探针，悬臂两侧分别形成有第一支撑构件、第二支撑构件，该第一支撑构件及第二支撑构件系形成设置於座体上，且该第一支撑构件及第二支撑构件上形成设有反射元件，该雷射模组系发射雷射光，透过该第一支撑构件上之反射元件，折射至悬臂探针端背面反射至第二构件上之反射元件後折射，令该检测模组接收折射後之雷射光输出相对之讯号。 |
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