产业集群信息网

产业专利数据

原子力显微镜之探针或雷射定位方法

TW093108077 2004-3-25 发明申请

2005-10-1

本发明系一种原子力显微镜之探针式雷射定位方法，系藉由一控制单元、一致动单元、一雷射单元、一探针模组、一光位移侦测单元等相互连接组合而成之结构，来逐步缩小该雷射单元之扫描范围，以确认最佳雷射定位之位置。