| 用于评估物理性能的微小区域的方法和在其中使用扫描探针显微镜 |
| JP2004074221 2004-3-16 发明申请 |
| 2005-9-29 |
| 要解决的问题 : 以提供一种用于评估所述的方法所述表面上的所述微小区的物理特性一种用于在其中的固体和一种扫描探针显微镜的，以评估即使高电阻率的物质如一种氧化物或一种评价等，而不限制对象，以良好的导体。溶液 : 所述扫描探针显微镜是用于使一探头具有导电性为与所述表面接触的一样品，以所述样品上施加偏置电压和所述的探针，以照射所述接触的位置与所述尖端所述探针在所述样品的表面或其附近与光，以检测该电流流经所述样品和所述探针和使用所述的该检测结果来评价所述物理特性的所述微小区。 |
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