| 利用原子力显微镜样品的测量方法和样品测量系统及其 |
| JP2004080013 2004-3-19 发明申请 |
| 2005-9-29 |
| 要解决的问题 : 以增强所述的一种原子力显微镜测量精度的去静电一样品有效地不当所述样品施加负载到一个样品测量系统是使用所述原子力显微镜测量。溶液 : 一静电消除器4和一个电荷监视器3被设置和所述的电荷监视器3被控制在所述根据所述的位置的所述原子力显微镜的探针2通过一监控位置控制装置7，以测量该电荷量在所述周边所述的位置的所述的探针2所述样品1。例如，所述的电荷监视器3所述的位置被控制，以便总是安排所述的电荷监视器3所述探头2的附近或所述监视器中所述探头2被定位在所述的附近选择从多个所述电荷的监视和电荷量被测量通过该监视器。一种消除静电的控制装置8是构成，以便操作该静电消除器4用于一定当该电荷量测量时间由所述的电荷监视器3超过一预定值，以destaticize所述样品。 |
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