| 共焦显微镜和膜厚度测量仪器 |
| JP2004076276 2004-3-17 发明申请 |
| 2005-9-29 |
| 要解决的问题 : 以提供一个共焦显微镜其成像中的时间被缩短。溶液 : 所述共焦显微镜是提供具有一光源11，一种多狭缝14的光转换成从所述光源11为线状光，VCM16，它将所述多狭缝14和扫描线状光，一CCD照相机28设置在图像形成表面和在其中多个像素被提供的等一阵列; 一个像素列的存储部91，其存储像素列对应于一个照明区域84，其中所述线状光通过该VCM是扫描照射一个光接收表面上的所述CCD照相机28根据一位置。所述的多狭缝14和一CCD照相机控制部94进行控制，以存储和采取进行信号的多个像素列的对应到一非照明区域83以外的所述的照明区域在该CCD摄像机28。 |
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