| 扫描探针显微镜及其测量方法 |
| US11088086 2005-3-23 发明申请 |
| 2005-9-29 |
| 本发明提供了一种扫描探针显微镜，其能够在不使样品从扫描探针显微镜移动的情况下将光照射到样品上，并且通过控制样品放置的条件并且不改变样品的位置来测量样品。 扫描探针显微镜包括 : 悬臂，在其顶端具有探针；样品移动装置，用于移动样品；可拆卸悬臂弯曲量检测装置，用于通过激光束检测悬臂的弯曲量；以及曝光装置，用于将样品暴露于来自悬臂的上侧的光，其中，当进行样品的曝光时，悬臂弯曲量检测装置是可独立拆卸的。 |
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