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用于原子力显微镜的探针和制造这种探针的方法

US10499174 2005-5-11 发明申请

2005-9-29

本发明涉及一种用于磁力显微镜的探针，其包括放置在晶片平面中的可移动悬臂和基本上与悬臂成直角放置的尖端，其中悬臂能够移动并且其振荡方向在晶片平面中，并且尖端实质上位于晶片平面中或者平行于晶片平面。