激光扫描显微镜和设置方法。
 
JP2004067576  2004-3-10  发明申请

2005-9-22
 
  要解决的问题 : 以提供一激光扫描显微镜能够稳定地高精度地检测的具有高精度色散; 和,以提供一个设定方法。溶液 : 所述激光扫描显微镜包括 : 一个共焦光学系统7用于共焦地检测检测样品发出的光6照射激光从激光光源1发出的光 : 一光栅801用于频谱分析所述检测光检测到的共焦地; 一种波长选择装置8,具有一狭缝802选择所要测量的从光的频谱分量分析频谱; 和一个光检测器9用于检测所选择的波长的光通过所述波长选择装置8。所述激光扫描显微镜调整所述狭缝802的宽度和所述光栅801所述的角度由所述波长选择装置8所述最佳设定条件的基础上,找出最佳的设定条件使用所述波长选择装置8以所述检测发射的光从反射镜,在所述样品的位置在预先,关于所述波长的所述激光光源1所述的激光束作为所述参考波长。
 
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