| 用于精确测量的扫描电子显微镜的评估方法 |
| US10805632 2004-3-22 发明申请 |
| 2005-9-22 |
| 一种评估测量电子显微镜的方法，包括以下步骤 : 设置用于随后测量尺寸和线边缘粗糙度的显微镜的这种操作模式； 将具有已知直边的测试对象引入显微镜的对象室中； 在显微镜的载物台上定向测试对象； 利用电子束扫描测试对象； 获得所述测试对象的所述边缘的图像，并以数字形式保存所述图像； 定位测试对象的边缘并以数字形式保存图像； 在每行扫描的图像上定位测试对象的边缘； 产生存储与第i条扫描线的边缘的位置相对应的坐标x(i)的一组值； 用直线近似值X(i)的集合； 在每一行扫描上计算坐标x(i)与直线的偏差p(i)； 分析偏差(I)的一组值； 计算差值AVE和最大差值Amax，如果差值Amax的最大值超过可接受的测量公差，则得出显微镜是否可用于测量和是否需要调整的结论。 |
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