| 原子力显微镜探针装置及其制造方法 |
| TW093105381 2004-3-2 发明申请 |
| 2005-9-16 |
| 一种原子力显微镜探针装置，其包括：一探针座；一固定于探针座之悬臂，其具有至少一可设置针尖之末端；及，设置於该悬臂末端用作针尖的碳纳米管。其中，该探针悬臂末端的顶部形成有一具孔洞的平面，该碳纳米管由该孔洞基本垂直在该平面长出。本发明还提供上述原子力显微镜探针装置的制造方法。本发明采用X光深刻电铸模造制程处理需设置奈米碳管针尖之原子力显微镜探针悬臂，解决先前技术之用作原子力显微镜探针针尖奈米碳管之取向性低之问题。 |
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