| 扫描电子显微镜和加速度电压优化的方法在扫描电子显微镜 |
| JP2004064484 2004-3-8 发明申请 |
| 2005-9-15 |
| 要解决的问题 : 以提高二维扫描电子显微镜检查的精度和重现性。溶液 : 各种电子束12与电子枪11上施加加速电压从一个加速电压施加装置13改变被照射，每个二次发射的电子从而从样品16是检测由一个二次电子检测装置19，每个检测到的对比度是由一个对比度检测装置22基于所述二次电子检测，和一个最佳的加速电压在其所述对比度得到所述基于确定的最大是在每个加速电压和所述对比度检测。然后，该电子束12加速通过所述最佳地加速所述样品上照射的加速电压是16到进行三维测量实际的图案。 |
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