扫描探针显微镜
 
US11076250  2005-3-9  发明申请

2005-9-15
 
  一种扫描探针显微镜,其不仅能够避免样品与探针之间的接触,而且能够缩短从探针扫描期间检测样品到将探针升高到样品的顶面的时间。 Z轴控制量计算机构将悬臂的位移量或使悬臂摆动时的摆动量控制为恒定,Z轴驱动机构基于来自Z轴控制量计算机构的控制信号在Z方向上驱动悬臂或样品。 驱动范围限制装置限制Z轴驱动机构的驱动范围,并且驱动范围设定装置可选地设定驱动范围,使得即使在没有样品的区域,探头也被降低到设定位置。
 
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