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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

扭转补偿式低能电子显微镜

US10889240 2004-7-12 发明授权

2005-9-13

公开的一个实施例涉及用于检查衬底的Leem型设备。照明系统产生入射光束，物镜系统将入射光束聚焦到衬底上。在这种情况下，物镜系统包括在入射光束中引起圆周速度的磁浸没透镜，并且照明系统包括在入射光束中引起圆周速度的另一磁浸没透镜，该磁浸没透镜补偿由物镜系统中的磁浸没透镜引起的圆周速度。有利地，这使得能够改善使用磁浸没物镜的并行成像电子束系统的性能。