| 扫描探针显微镜 |
| WOEP05001456 2005-2-14 发明申请 |
| 2005-9-9 |
| 本发明涉及一种扫描探针显微镜包括一个基本帧或基于支撑到其中一个探针架与探针以及作为探针支撑被或可以被固定。该探针可相对于所述探头移动支撑在所述顺序中X和Y方向以获得关于所述表面的一探针，通过扫描所述探针。此外，一反应室内部，其中所述样品支撑被设置能够被紧固到所述的基本帧所述扫描探针显微镜。所述侧的所述反应室，其面对所述探针是提供具有一开口，通过所述探针可浸入所述反应室。本发明的扫描探针显微镜使它可能以一种等离子体产生装置的处理的等离子体与所述辅助另外，以处理多个样本的。 |
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