| 在非接触模式下在增加原子力显微镜中测量的采集带宽的情况下检测点-面相互作用力而不损失灵敏度的方法 |
| FR22002902 2022-3-30 发明申请 |
| 2023-10-6 |
| 用于测量(100)与激励装置(12)集成的AFM(1)的力探针(9)的部分(3)和尖端(10)之间的相互作用力的方法，激励装置(12)能够作为激励信号(e(t))的函数振动，该方法包括激励(112)力探针的步骤。 所施加的激励信号被配置为产生自由偏转(s0(t))，该自由偏转形成由脉冲调幅的正弦信号，力探针以自由共振频率(f0)进入共振; 测量(113)偏转(s(t))的步骤，力探针以相互作用共振频率(fT)进入共振; 处理步骤(114)，其中评估频移(ΔfT)，力探针的相互作用共振频率与自由共振频率之间的差。 摘要附图：[图3] |
微信公众号