| 光栅探针显微镜 |
| DE102004043191 2004-9-3 发明申请 |
| 2005-9-8 |
| 本发明涉及一种扫描探针显微镜包括一个基本帧或基于支撑到其中一个探针架与探针以及作为探针支撑被或可以被固定。该探针可相对位移以所述探针支撑在所述X和Y方向中，以便获得关于所述表面的一通过扫描所述探针的探针，此外，一反应室内部，其中所述样品支撑被设置能够被紧固到所述基本帧的所述扫描探针显微镜。所述侧的所述反应室，其面对所述探针是提供具有一个开口，通过该探针可浸入所述反应室。本发明的扫描探针显微镜使它可能以处理中的一种等离子体产生装置的等离子体与所述辅助添加到处理的多个样品。 |
微信公众号