| 扫描探针显微镜 |
| JP2004047812 2004-2-24 发明申请 |
| 2005-9-8 |
| 要解决的问题 : 以解决该问题，其中有一激光的光泄漏的概率到所述一当拆卸装置的外部一种光学头在所述非测量时间。溶液 : 该扫描探针显微镜用于检测一个物理量的一悬臂探针和样品之间的工作被配备有一光源，用于与光照射所述悬臂，一屏蔽装置，用于屏蔽所述的光，一导向装置，用于导引所述的光从所述光源到所述悬臂，和一反射检测装置，用于检测通过所述的光的光从所述悬臂。所述扫描探针显微镜是，其特征在于，屏蔽所述通过所述屏蔽装置通过去除所述导光装置从所述的光的光学路径。 |
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