| 扫描探针显微镜和测量方法使用它 |
| JP2004053726 2004-2-27 发明申请 |
| 2005-9-8 |
| 要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜能够测量的该一样品的尺寸变化而引起通过该周围环境样品中的一种变化，和以提供一种使用其测量方法。溶液 : 所述扫描探针显微镜是配备有一悬臂1具有一探头2提供到其引导端; 一用于检测所述位移的位移检测装置8所述的悬臂1，一种气体引入装置9用于引入气体和样品移动装置6用于设定所述样品的关断所述的三维变化伴随着所述引入所述的气体通过气体引入装置。所述向上和向下移动量的所述样品移动装置6被控制的同时检测所述的位移该悬臂通过该位移检测装置8。 |
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