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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

低真空扫描电子显微镜

JP2004055601 2004-3-1 发明申请

2005-9-8

要解决的问题 : 以实现一种低真空SEM通过一个排气系统仅与一个非常简单的结构。溶液 : 通过安装一个真空阀7在所述排气路径6的方式从一个排气泵5到一个样品室3，所述的真空度的所述样品室3和一个电子枪室1被单独调整。也就是说，如果所述排气的真空阀7被封闭在所述中间，排气的所述样品室3几乎停止，因此，该空气压力被保持用于一长的时间和所述的电子枪室1继续被排出之后，变成高真空状态。