| 弹跳光束扫描探针显微镜头 |
| KR1020040014012 2004-3-2 发明申请 |
| 2005-9-7 |
| 目的 : 一光束反射型的SPM(扫描探针显微镜)头被提供以容易地控制所述光的路径所述偏转的光束检测一悬臂和最小化所述多路径中发生反射的光束和所述干扰由于所述多重反射。结构 : 一个光光束的反射型的SPM头包括一个第一帧(31，32，32‘)具有一个第一传送导向和第二传送导向件(37)，和一个第二帧(35)连接到第一帧。一反射型悬臂(39)具有一探头被安装到第二帧。一种第一转印元件(33)是保持在第一帧和耦合到第一传送导向件。所述转印元件具有一柱(36); 它是一个第一中的移动方向相对于所述悬臂和一第二垂直方向中延伸到第一方向上。一种第二转印元件(34)被保持在第一帧，并具有一部件，用于检测所述偏转所述悬臂的。第二转印元件第一的转印元件是与该列互锁和耦合到第二转移第一的导向帧。第二与第一转印转印元件是可移动元件第一中的方向和第一转印元件第二中独立地是可移动的方向，kipo2006 |
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