| 扫描探针显微镜 |
| JP2004040055 2004-2-17 发明申请 |
| 2005-9-2 |
| 要解决的问题 : 由遗忘，以防止不当引起的测量输入的设定或输入错误，在更换所述的一种扫描仪的。溶液 : 一扫描器单元是配备有IC存储器中的其中一个控制参数被预先存储。一数据读取部分33读取的数据从所述IC存储器104所述扫描仪单元10安装在一底座21，当电源被接通和一个控制部分31保持该数据在所述内部存储器。在所观察的该一样品的表面，所述控制部31使用所述控制参数保持在所述内部存储器，以计算该电压施加到所述扫描器100以扫描该样品12在X-Y平面，与相对于探头14，和还以dispace所述扫描器100在Z-轴方向，对应于所述一个悬臂13计算由一位移的位移量计算部30。 |
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