| 扫描探针显微镜配备有扫描电子显微镜 |
| JP2004040756 2004-2-18 发明申请 |
| 2005-9-2 |
| 要解决的问题 : 以解决该问题，其中一个噪声是示出在一个SEM图像和一个SPM所述SEM的图像由于振动。溶液 : 一样品的观察装置是配备有一样品的观察室存储一种样品内部和保持在所述的真空状态，一个扫描探针显微镜用于检测一个物理量之间的作用一探头和所述样品，带电粒子的显微镜观察该样品，和第一的底座具有一个振动隔离装置安装在所述样品的观察室。该样品观察装置，其特征在于，用于保持所述样品安装一个样品台，所述扫描探针显微镜和所述带电粒子第一上的显微镜基。 |
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