| 显微镜装置，用于处理显微镜图像的方法，和用于检查半导体器件的方法 |
| JP2004041403 2004-2-18 发明申请 |
| 2005-9-2 |
| 要解决的问题 : 以提供一电子显微镜可创建次级电子和透明的电子图像的被通过该结构在所述的内部不影响薄的膜样品。溶液 : 一个电子装置的显微镜装置包括一个电流表14用于检测所述微弱的变化之间的流电电流，其一个样品夹持器到其中一个观察样品被安装和布线接地到所述接地，当电子光束被照射到一薄的片样品; 和一个信号处理装置11能够混合所得到的信号从所述电表的和所述信号从二次电子探测器9获得的，或一透明电子检测器10或在一固定比例等。该信号通过所述信号处理装置11校正偏转信号和所述的信号控制单元被同步和传送到显示装置。 |
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