产业集群信息网

产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

长行程近场扫描光学显微镜

US11028074 2005-1-3 发明申请

2005-9-1

一种近场扫描光学显微镜系统将光刻胶曝光在衬底上。所述系统包括NSOM探针和能够移动所述探针和所述衬底中的一个以使所述探针在整个衬底上连续移动的平移台。另一个近场扫描光学显微镜系统使用NSOM探针阵列在衬底上曝光光刻胶。在衬底上曝光光致抗蚀剂的方法包括使衬底的表面平移通过连续运动的NSOM探针(或NSOM探针阵列)的步骤。