| 扫描探针显微镜及其测量方法 |
| US11054504 2005-2-9 发明申请 |
| 2005-9-1 |
| 本发明提供一种扫描探针显微镜，即使在加热试样时从被加热物质中蒸发可蒸发成分，也能够高分辨率地测量并保持试样表面的形状和物理性质， 并且可以测量在每个加热温度下的物理性质的变化，而不会引起样品上的热历史。 所述扫描探针显微镜包括 : 悬臂，所述悬臂在其远端处具有探针； 加热单元，用于加热样品； 样品移动单元，用于移动样品； 以及屏蔽单元，用于屏蔽悬臂和样品之间，并且当加热样品时，屏蔽单元插入悬臂和样品之间，并且当测量样品时，屏蔽单元不插入悬臂和样品之间。 |
微信公众号