| 偏光显微镜装置及视场内校正分析方法 |
| JP2022049705 2022-3-25 发明申请 |
| 2023-10-5 |
| 要解决的问题:提供一种能够高精度地测定视场内的磁化特性的偏光显微镜装置以及视场内校正分析方法。 解决方案:根据实施例的偏光显微镜装置1包括:光源10,其产生照明光21; 偏振器12,照明光21入射到其上,并且透射包括第一偏振方向上的线性偏振的照明光21; 物镜14,其用包括线性偏振的照明光21照明样品20,并且透射通过照明光21在样品20上的反射而获得的反射光22; 检偏器17,其透射反射光22中的第二偏振方向上的线偏振分量; 图像获取单元19,其获取反射光22的图像; 磁体16,其产生要施加到样品20的外部磁场; 以及图像处理部30,其对所获取的图像进行处理。 图像处理单元30计算包括视场中的每个ROI的偏振旋转角分布和椭圆率的正方形分布的设备常数数,并且通过使用设备常数数和滞后环的分析来计算每个ROI的Kerr旋转的旋转角。 选图:图6版权:(C)2024, JPO&INPIT |