| 原子力显微镜探针装置及其制造方法 |
| CN200410015593.5 2004-2-28 发明申请 |
| 2005-8-31 |
| 一种原子力显微镜探针装置，包括：一探针座； 一固定于探 针座、具有至少一可设置针尖的末端的悬臂；以及设置于该悬 臂末端用作针尖的碳纳米管。其中，该探针悬臂末端的顶部形 成有一具有孔洞的平面，该碳纳米管由该孔洞基本垂直于该平 面长出。本发明还提供上述原子力显微镜探针装置的制造方 法。本发明采用X光深刻电铸模造制程处理需设置碳纳米管针 尖的原子力显微镜探针悬臂，解决现有技术中用作原子力显微 镜探针针尖碳纳米管的取向性低的问题。 |
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