| 原子力显微镜的谐波悬臂和成像方法 |
| US10801394 2004-3-15 发明授权 |
| 2005-8-30 |
| 一种用于抽头式原子力显微镜的谐波悬臂，包括悬臂和探针尖端。 悬臂具有被选择成调谐所选高阶模式的基本谐振频率或谐振频率的形状，使得所述基本谐振频率和高阶谐振频率具有整数比或接近整数比。 在一个实施例中，悬臂可成形为调谐基频谐振频率。 或者，悬臂可以包括用于调谐基模或所选高阶模的谐振频率的几何特征。 公开了一种使用谐波悬臂梁的成像方法，由此测量高次谐波的信号以确定样品的材料特性。 在另一个实施例中，悬臂包括位于不希望的谐波的最小位移位置处的探针尖端，用于抑制与不希望的谐波相关联的信号。 |
微信公众号