| 用于原子力显微镜悬臂 |
| JP2004036389 2004-2-13 发明申请 |
| 2005-8-25 |
| 要解决的问题 : 以提高检测灵敏度的物理性能值如容量或等一种原子力显微镜的AFM。溶液 : 例如，一种动态模式中的AFM，一凹槽64延伸在一宽度所述长度方向的方向被形成在所述的方式一个扁平的短条状的矩形paralleleped悬臂2。利用这种结构，所述比(ω2a\/ω1a)的二次共振角该悬臂2的频率ω2a到所述主共振角频率ω(其可以被降低到低于6.3的一个值，例如，2.8。因此，ω1a和ω2a被制成作为所述可检测的频率波段中尽可能大的400kHz或一个光电二极管5的下方用于检测所述的位移或角度的结构中所述的悬臂2由一个光学杠杆的方法，以提高灵敏度。进一步，从一个方面的限制可以放宽和一个等效的结构的弹簧常数在二次谐振使用所述测量的物理特性是由小。进一步，所述的动态模式中的AFM，所述初级谐振的弹簧常数使用所述的控制所述之间的距离一探针1和样品3被保持到一个适当的值，以防止所述的粘附所述探针1和样品3由于分子间力，以使一稳定的测量。 |
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