| 光学显微镜测量装置 |
| JP2003388725 2003-11-19 发明申请 |
| 2005-6-9 |
| 要解决的问题 : 以提供一测量装置能够容易调整的工作，关于所述测量装置，用于通过允许激励光干涉测量物理性能，形成一个衍射光栅从而，和衍射探头的光。溶液 : 该装置是配备有一光学显微镜体21，一种激励光入射光学系统，其中每个激励光e1，E2通过不同的外围部分的一物镜透镜32，和所述两个激励光的E1，E2通过所述物镜后折射透镜，和所述两个激励光的折射的E1，e2彼此交叉，在一个测量点，和一个产生干扰条纹，从而引起所述衍射光栅，一个探头的光入射光学系统，其中所述探针所述物镜的光P通过所述中心部分32，和所述探针光P通过该测量点后，通过所述物镜，和一个检测器用于检测衍射光通过衍射获得的所述探针通过所述衍射光栅光P通过所述测量点。在此，所述样品的物理性能可以测量由该衍射光。 |
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