| 光学显微镜测量装置 |
| JP2003388726 2003-11-19 发明申请 |
| 2005-6-9 |
| 要解决的问题 : 以提供一测量装置由一个总反射热透镜的方法能够容易地调整所述激励光之间的聚焦点和探针光到一个样品干扰或到一个测量点。溶液 : 该装置是配备有一光学显微镜体16,用于观察光学测量点,一光源20,用于照射所述激励光E,激励光入射光学系统,其中所述激励光中的E进入与光学轴线平行的一物镜透镜12和通过所述物镜透镜12的周边部分; 和所述激励光E被折射,允许进入该测量点倾斜,并完全反射由所述样品干扰,一光源21用于照射所述探头的光P,一种探针光入射光学系统,其中所述探针光P进入在与所述物镜透镜12所述的光学轴线平行,并通过所述的中心部分所述物镜透镜12,和所述探针垂直的光P进入该测量点,和从而所述探头的光P通过一样品30,和一个检测器19用于检测所述探头的光通过样品30。在此,所述一种折射率的变化由所述激励光所产生的测量点e附近被检测到通过所述探头的光P。 |