扫描探针显微镜
 
JP2003388931  2003-11-19  发明申请

2005-6-9
 
  要解决的问题 : 以解决该问题,即一种机构,用于接收反射的激光光束从一个悬臂被复杂和大。溶液 : 用于相对所述扫描探针显微镜扫描探针和样品包括所述悬臂具有一弹性体用于支撑所述探针; 一个振动装置用于振动所述悬臂; 一光源,用于照射该悬臂与光; 和一个光波导,用于接收从所述悬臂到所述光反射的光。在这种情况下,所述反射的光从该振动悬臂梁所述规定的位置是接收由所述的光学波导。
 
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