扫描探针显微镜
 
JP2003388932  2003-11-19  发明申请

2005-6-9
 
  要解决的问题 : 以一种悬臂中的一个位移增加时,检测灵敏度。溶液 : 所述扫描探针显微镜,其相对扫描探针和样品之间和所述物理量检测所述其探针和样品包括所述悬臂的所述探针是提供在所述尖端,一光源,用于该悬臂与所述的背面照射光,一用于接收从所述悬臂反射的光检测器,和至少两个光学透镜,其被放置在所述的光学轴之间的所述的光的光源和所述悬臂用于跟踪所述悬臂。
 
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