| 扫描电子显微镜 |
| JP2003321036 2003-9-12 发明申请 |
| 2005-4-7 |
| 要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜允许一个表面上的一个磁化强度分布的一种磁体样品被观察到具有高放大倍率。溶液 : 该扫描电子显微镜是配备有 : 一个电子源17; 电子束会聚装置7，21和22由通过包括该透镜7，用于会聚电子束从该电子源发射的发射它以一样品6安装在一磁场的磁场透镜7; 一用于二维扫描的电子束扫描装置23所述电子束在样品6; 一个二次电子的光学系统8用于引导从所述样品发射的二次电子6在相反的方向以使所述的电子束以形成一个其图像; 和一个检测装置30用于检测所述二次电子的自旋-极化的程度引导通过所述二次电子光学系统。通过引导所述二次电子到所述检测装置30用于该二次电子的自旋-极化的程度通过抑制色散的所述二次电子的自旋方向尽可能多的作为可能的，所述表面上的所述磁化强度分布所述磁性体的样品是具有高放大倍率观察。 |
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