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电子显微镜
US10951892 2004-9-29 发明申请
2005-4-7
在电子显微镜中,自动地进行焦点校正,显示像散差量,并定量地进行像散校正。 通过改变物镜和光敏电阻线圈的激励电流,将电子束照射到样品上而获得的放大样品图像被由光学透镜和捕获装置组成的捕获单元捕获,并通过算术逻辑单元计算图像锐度系数。 基于所获得的图像锐度系数的角分量值选择合适的像散校正方向,然后将校正激励电流提供给激励器线圈以校正像散,并且将校正激励电流提供给物镜线圈以执行聚焦校正。
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