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光学显微镜用自动对焦装置及自动对焦维持方法
KR1020220038339 2022-3-28 发明申请
2023-10-5
本发明涉及一种光学显微镜的自动对焦装置及自动对焦维持方法,该光学显微镜的自动对焦装置能够长期正确地维持使用光观察试样的光学显微镜的焦点。 本发明提供一种光学显微镜的自动对焦装置,其包括:导光束产生部,其安装于光学显微镜的光源部,向试样表面供给导光束; 以及样品焦点测量部分,其测量从样品表面反射的引导光束,并检测样品表面和物镜之间的距离变化。
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