| 扫描电子显微镜具有多个检测器和一个用于基于多个检测器成像方法 |
| WOUS03033648 2003-10-22 发明申请 |
| 2005-2-24 |
| 一种系统和方法用于多检测器(14，40)检测的电子，该方法包括以下步骤 : 引导的一个主电子束，通过一列，以与被检查物体(晶片)相互作用，引导，通过引入一个相当大的静电场; 从该被检查物体的反射或散射的电子(晶片)向多个内部检测器(14，40)，而至少一些所述引导关系中的小角度处被反射或散射的电子到所述检查对象(晶片); 和从至少一个内部接收检测信号检测器。 |
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