| X-射线透射显微镜装置 |
| KR1020030053414 2003-8-1 发明申请 |
| 2005-2-21 |
| 目的 : 一种显微镜装置被提供给使用一个目标在一个长时间的周期，通过改变该位置所述目标其中的脉冲光照射。结构 : 一显微镜装置(100)包括一目标室(130)，一个样品腔室(120)，和一拾取单元(180)。所述目标室包括一目标保持器，一金属目标; 一光源(110)，一个目标旋转单元，一个目标移动单元，和一个目标位置调整单元。目标保持器被设置在所述目标内的中心室，和具有一个开放侧和闭合其它侧。所述金属目标具有一圆形盘的形状，和所述目标的保持器被安装在所述开口侧。该光源照射脉冲光到所述目标。所述目标转动单元被耦合到一后表面的所述目标架上，使得所述目标转动单元旋转所述目标在一个预定的速度。所述目标移动单元下面是设置所述目标支架和移动所述目标在这种方式使该脉冲光被均匀地照射所述目标的一个表面上。该目标位置调整单元调整聚焦和所述脉冲的位置光照射在所述目标，kipo2005 |
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