| 压电元件的控制器，扫描探针显微镜，和压电元件控制的程序 |
| JP2003141938 2003-5-20 发明申请 |
| 2004-12-9 |
| 要解决的问题 : 以提供一种压电元件的控制器与所述其上的传感器的微小位移的灵敏度保持所述位移量恒定的独立的Z一个压电元件和用于高精度的控制，即使用于微小位移。溶液 : 该压电元件控制器是配备有一压电元件20具有第一和第二电极和移动通过第一和第二电极之间放置一个电场，驱动电路14，15，和16，连接到第一所述元件的电极20和输出电压信号，以代替所述第一和第二电极之间的电场; 电荷检测电路30连接到第二电极的所述元件20以检测所述的量电荷存储在所述元件20，和一个用于输出一个校正值的校正电路40执行计算用于基于所述检测电路30的输出校正所述的输出上的所述驱动电路14，15和16，和在所述输出的所述检测电路30。 |
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