| 成像型X-射线显微镜 |
| JP2003145028 2003-5-22 发明申请 |
| 2004-12-9 |
| 要解决的问题 : 以提供一种具有高分辨率X-射线显微镜和不饱和现象。溶液 : 该X-射线显微镜是配备有一X-射线生成部分，用于产生一激光等离子体X-射线通过引入入射激光的光以一个X-射线目标105，一个样品夹持器107用于支撑所述的照射位置上的样品所述X-射线，和一种X-射线物镜光学系统109用于放大所述X-射线传输通过所述样品和成像一光电转换面113上。在该显微镜，一种电-光系统，用于放大所述光电转换面上产生一个电子图像113被所述的相反侧上提供所述X-射线所述光电转换面上的物镜光学系统，和所述X-射线生成部，该样品保持器和所述X-射线物镜光学系统被存储在一个真空容器125，和X-射线图像被转换成所述的电子图像由所述光电转换面113，扩大电-光，成像和观察通过一个成像元件121。 |
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