| 电子显微镜装置和用电子显微镜观察方法 |
| JP2004036328 2004-2-13 发明申请 |
| 2005-8-25 |
| 要解决的问题 : 以容易地执行的横截面SEM观察通过提高二次电子发生效率与高分辨率在一一薄膜样品的横截面观察区域。溶液 : 本发明的电子显微镜装置包括一加载与所述样品以被观察到的样品架通过一扫描电子显微镜或扫描传输电子显微镜，一对比度材料的h105当所述二次电子所产生的效率提高该样品是与电子束照射，和一个h107驱动所述对比度的对比度材料的驱动部材料h105。所述对比度材料h105是通过控制所述h107对比度材料的驱动部设置在一规定的区域在所述后表面侧相对的表面侧与所述电子束照射在样品。因此，通过所述电子束的辐射通过驱动和设置所述对比度材料h105附近的所述薄膜样品在所述的相反侧观察该薄膜样品的表面108，该二次电子产生所期望的效率观察表面108是改进，和与高分辨率可以进行SEM观察。 |
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