| 原子力显微镜加热自检式悬臂 |
| US10395683 2003-3-24 发明授权 |
| 2005-8-23 |
| 一种用于原子力显微镜(AFM)的自检式悬臂，具有 : 电弯曲转换元件，用于将悬臂的弯曲量转换成电流或电压；温度测量元件，设置在悬臂的前端部分，用于测量温度；以及加热元件，设置在悬臂的前端部分，用于加热温度测量元件。 所述测温元件和所述加热元件通过电绝缘层彼此叠置在所述悬臂的主面上。 因此，即使供给加热元件的电能的量减少，也能够有效地向测温元件供给测量所需的热量。 因此，通过将提供给样品和悬臂的热量最小化，提高了测量的响应性，并且能够以高精度进行温度测量。 |
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