| 扫描电子显微镜提供与功能的X-射线显微镜 |
| JP2004029766 2004-2-5 发明申请 |
| 2005-8-18 |
| 要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜与一一种X-射线的显微镜能够容易地的功能两个功能之间切换。溶液 : 在所述通过所述扫描电子显微镜观察，一夹持器16被定位成使得一个开口20被设置在所述电子束的路径4。该电子束4是一样品上照射和扫描12，和SME图像可以获得通过在所述样品检测二次电子或反射的电子产生的12。在所述通过所述X-射线显微镜观察，任一个的阳极18a，18b，或18c被设置在所述电子束的路径4通过移动所述夹持器16。X-射线是由所述电子束的照射产生的4的任一个上的所述阳极18a，18b; 或18aC，和所述X-射线被发送通过所述样品12和转换成光在荧光体26。所述被检测到的光通过一个CCD摄像机28，和一个放大图像被获得。 |
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