利用扫描探针显微镜尖端的方法及其产品或由其生产的产品
 
US10937877  2004-9-10  发明申请

2005-8-18
 
  本发明提供了一种称为“蘸笔”纳米光刻(DPN)的光刻方法。 DPN利用扫描探针显微镜(SPM)尖端(例如, 作为“笔”的原子力显微镜(AFM)尖端,固态衬底(例如, 金)作为“纸”,和对固态底物具有化学亲和力的分子作为“油墨”。分子从SPM尖端到固态底物的毛细管传输被用于DPN中,以直接写入由亚微米尺寸的相对小分子集合组成的图案, 使DPN可用于制造各种微米级和纳米级器件。 本发明也提供了由DPN申请专利的基片,包括亚微细计组合阵列,以及用于执行DPN的试剂盒,装置和软件。 本发明还提供了一种在空气中进行AFM成像的方法。 所述方法包括用疏水性化合物涂覆AFM尖端,疏水性组合物被选择成使得与使用未涂覆的AFM尖端预形成的AFM成像相比,使用涂覆的AFM尖端执行的AFM成像被改善。 最后,本发明提供涂覆有疏水化合物的AFM尖端。
 
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