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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

用于扫描探针显微镜检查的微调机构

CN200510009021.0 2005-2-16 发明申请

2005-8-17

一种用于扫描探针显微镜检查的具有高刚度和高测量精度的微调机构，通过布置安装在小的空间内的应变计位移传感器，能够获得温度补偿。由压电器件形成的微调机构设有至少两个电极，其中一个电极用作无电压施加的补偿电极，而另一个电极用作有效电极，当施加电压时该有效电极在压电器件上产生应变；一个或两个电阻设置在有效电极和补偿电极的每一个上，并通过电阻形成桥式电路。