产业集群信息网

产业专利数据

用于可变压力区域的检测器和包括相应检测器的电子显微镜

US10500951 2003-12-30 发明申请

2005-8-11

一种用于扫描电子显微镜的检测器，其可在电子显微镜样品室中的不同压力条件下使用，设计用于检测电子和光。为此，检测器具有光电检测器和在光电检测器之前连接的可见光透射材料闪烁体。所述闪烁体可以具有对可见光透明的涂层。本实用新型通过施加不同的电位，适用于高真空中电子的检测，也适用于样品室内高压光的检测。